真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。1. 真空度一般有下述几种表示方法:①以绝对压力p表示,单位为kPa、Torr。②以相对压力pv表示,单位为kPa、mmHg。pv(kPa)=101.32- p(kPa)pv(mmHg)=760- p(Torr)1 Torr =1mmHg2. 抽气速率S抽气速率S指单位时间内,真空泵吸入口在吸入状态下的气体体积量(指吸入压力和温度下的体积流量),单位是m3/h、m3/min。真空泵的抽气速率S与吸入压力有关,吸入压力越低,抽气速率越小,直至极限真空时,抽气速率为零。3. 极限真空极限真空指真空泵抽气时能达到的最低稳定压力值,也称最大真