真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
1. 真空度
一般有下述几种表示方法:
①以绝对压力p表示,单位为kPa、Torr。
②以相对压力pv表示,单位为kPa、mmHg。
pv(kPa)=101.32- p(kPa)
pv(mmHg)=760- p(Torr)
1 Torr =1mmHg
2. 抽气速率S
抽气速率S指单位时间内,真空泵吸入口在吸入状态下的气体体积量(指吸入压力和温度下的体积流量),单位是m3/h、m3/min。
真空泵的抽气速率S与吸入压力有关,吸入压力越低,抽气速率越小,直至极限真空时,抽气速率为零。
3. 极限真空
极限真空指真空泵抽气时能达到的最低稳定压力值,也称最大真空度。
4. 抽气时间t
对于任何一个真空系统,总希望是完全气密的,以达到真空泵的最佳利用,但事实上总有空气泄漏入真空系统。
对系统的空气泄漏量最好是由试验测定,但对一个新的设计或不能进行试验的场合,可通过估算求得。
1. 根据接头密封长度进行的泄漏量估算
2. 根据真空系统的容积进行的泄漏量估算
真空泵的工作压力范围见下表。
单位:mmHg
①根据真空系统的真空度和泵进口管道的压降,确定泵吸入口处的真空度(绝压)。
②确定真空系统的抽气速率Se。
③将Se换算成泵厂样本规定条件下的抽气速率S'e。
a.对于液环真空泵,泵厂样本的标准进气温度是20℃,进水温度是15℃。
其S’e按下式计算。
式中 k1,k2——工作水温度、气体温度的不同引起的修正,可按下式计算。
b.对于其他类真空泵,一般泵厂样本的标准进气温度也是20℃,S’e可按下式计算。
④根据抽气速率和真空度要求,选择真空泵的类型。
要求真空泵的抽气速率S满足下式的条件。
S>(20%~30%)S’e